高真空出料泵的腐蝕類型不同，產(chǎn)生的損壞形式也不一樣。常見、主要的腐蝕類型是濕腐蝕。
局部腐蝕
與其相反的局部腐蝕，則是指發(fā)生在金屬表面各個局部的腐蝕。其根源是由于形成溶解度不同的腐蝕產(chǎn)物從而導(dǎo)致的局部不同的腐蝕負(fù)荷（溫度、濃度、流速等）。
均勻腐蝕
均勻腐蝕是發(fā)生在高真空齒輪泵金屬表面全部或大部分的腐蝕率相同的腐蝕。
點(diǎn)蝕
點(diǎn)蝕是一種受限于電化學(xué)、局部的、導(dǎo)致形成點(diǎn)狀空穴的材料腐蝕。其根源在于存在腐蝕因素，主要是氯化物。點(diǎn)蝕現(xiàn)象在不銹鋼和鋁合金上尤為嚴(yán)重。
接觸腐蝕（電偶腐蝕）是因為金屬之間的腐蝕電極電位不同，形成腐蝕因素而發(fā)生的。期間，電極電位較低的金屬（陽極）溶解速度加快，電極電位高的金屬則成為陰極反應(yīng)面。腐蝕速度由腐蝕電極電位之差和兩個反應(yīng)面的比率決定。當(dāng)腐蝕電極電位差別很大時，如果陽極面積很小，而陰極面積很大，則是極為不利的。
縫隙腐蝕
縫隙腐蝕是發(fā)生在同類金屬之間或金屬和非金屬之間的狹窄縫隙。因為氯化物增加或形成氧化層的氧氣減少，從而產(chǎn)生腐蝕因素。
石墨化腐蝕
石墨化腐蝕是一種灰鑄鐵中因防護(hù)層不不足導(dǎo)致金屬成分溶解的選擇性腐蝕。后只剩下初形狀的、充滿腐蝕產(chǎn)物的石墨框架。
晶間腐蝕
晶間腐蝕是指晶粒邊界發(fā)生的優(yōu)先腐蝕。不銹鋼中，由于碳向晶粒邊界擴(kuò)散，導(dǎo)致貧鉻，從而引發(fā)晶間腐蝕。這種腐蝕類型會導(dǎo)致晶粒的迅速衰變。脫鋅或脫鋁
脫鋅或脫鋁是有色金屬因為金屬鋅或鋁的選擇性腐蝕引起的。
選擇性腐蝕
選擇性腐蝕是一種某些晶界成分或者合金成分優(yōu)先腐蝕的腐蝕類型。選擇性腐蝕的形式有石墨化腐蝕、晶間腐蝕、脫鋅和脫鋁等。
靜態(tài)腐蝕
靜態(tài)腐蝕是在不流動的液體中發(fā)生的腐蝕，這種腐蝕只發(fā)生在設(shè)備停止運(yùn)轉(zhuǎn)期間。
微生物腐蝕
微生物腐蝕是一種受微生物影響的腐蝕，例如硫酸鹽還原細(xì)菌。
摩擦腐蝕
摩擦腐蝕是指因機(jī)械摩擦導(dǎo)致表面層或鈍化層受損從而受到腐蝕介質(zhì)影響的腐蝕。
應(yīng)力腐蝕
應(yīng)力腐蝕是指金屬在承受各種拉載荷時因具體腐蝕介質(zhì)影響而出現(xiàn)裂紋的現(xiàn)象，在這個過程中，材料無明顯腐蝕產(chǎn)物，脆性斷裂。
侵蝕-腐蝕
侵蝕-腐蝕是機(jī)械表面剝蝕和腐蝕的交互作用，在這個過程中，因為防護(hù)層受到破壞而產(chǎn)生剝蝕，剝蝕的后果是腐蝕。
空蝕
空蝕是指空化和腐蝕的交互作用，在這個過程中，由于防護(hù)層受到局部空化破壞，從而導(dǎo)致并加快了腐蝕。
腐蝕疲勞
腐蝕疲勞是指金屬由于機(jī)械交變載荷與腐蝕交互作用所造成的低變形、大多跨晶粒斷裂的現(xiàn)象。
